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NXQ4006光刻机工作过程详细介绍
发布时间:2018-03-13 点击次数:1464次
  NXQ4006光刻机工作过程详细介绍
  
  1.打开NXQ4006光刻机电源开关,(右表板上标有“电源”字的开关),灯亮,气压表显示数值。
  
  此时检查左表板上的“系统真空”表,看是否保持真空度≥-0.07MPa以上,否则要检查漏气原因并消除之。
  
  2.打开汞灯电源(左表板上标有“汞灯”字样的开关),指示灯亮。
  
  此时观察电流表指针,直到指到4A左右,说明汞灯已点燃。
  
  zui少要15分钟以后,汞灯亮度才能稳定,操作者才能进行以下工作。
  
  3.调节NXQ4006光刻机气压(左表板)
  
  观察进气压力,是否≥0.3Mpa,然后调节“给定压力”=0.1kg/cm2。
  
  4.“真空吸版”
  
  将版放到版夹盘上,按“真空吸版”开关(面板上标有“吸版”字样的开关),指示灯亮。版被吸牢。如果“系统真空表”因这一动作而掉表,应查明原因,是否版不平,或者版和版夹盘上有杂物。
  
  5.“真空吸片”
  
  检查承片台表面是否清洁,放上片,按“真空吸片”开关,(面板上标有“吸片”字的开关)灯亮,片被吸牢。
  
  如果片的底面不平,片不规则(如碎片)等,片的吸牢程度降低,而且“系统真空表”有掉表现象,如果严重,将影响吸片牢度。
  
  6.NXQ4006光刻机承片台上升并使片顶版。
  
  承片台上升时,按“气浮”键(面板上标有“气浮”字的开关)灯亮,不放手直到顶升压力回复到设计压力。此时,操作者观察气浮压力数显表,是否到预设压力。如果到预设压力,说明版、片已找平。停止顶版,并放手“气浮”键,半球由“气浮”状态变成“真空吸球”状态。
  
  


 
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