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德国Diener等离子清洗机等离子刻蚀物的处理
发布时间:2018-11-21 点击次数:589次
   德国Diener等离子清洗机等离子刻蚀物的处理
 
  一、德国Diener等离子清洗机金属表面去油污并清洗
  
  金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果:
  
  1.1灰化表面有机层
  
  表面会受到物理轰击和化学处理(氧下图)
  
  在真空和瞬时高温状态下,污染物部分蒸发
  
  污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空泵抽出
  
  紫外辐射破坏污染物
  
  因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以污染层不能太厚。指纹也适用。
  
  1.2氧化物去除
  
  金属氧化物会与处理气体发生化学反应
  
  这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。步先用氧气氧化表面,第二步用氢气和氩气的混合气体去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
  
  1.3焊接
  
  通常,印刷线路板(PCB)在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。
  
  1.4键合
  
  好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洗。
  
  二、德国Diener等离子清洗机等离子刻蚀物的处理
  
  在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时,下图)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。
  
  等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如POM、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积提高粘合强度。
  
  


 
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