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集结号:NXQ4006光刻机的操作步骤及工作过程
发布时间:2019-06-20 点击次数:84次
   集结号:NXQ4006光刻机的操作步骤及工作过程
  1.汞灯位置调节
  汞灯位置调节在换灯后或灯位置变动时会改变照明的均匀性和照明的光强,这时调节三维灯座台,使汞灯球体位于椭球镜的第一焦点上,这时照明强度大,均匀性好。
  2.NXQ4006光刻机的开机准备
  (1).供给机器的电源配电插座应有220伏的供电能力,在总电源插头插上后,机柜已通电。
  (2).开启空气压缩机和真空泵,要求:供气压力大于0.4Mpa(表压),真空度高于-0.06Mpa。
  3.开机正常工作时,先按“汞灯电源”红色按钮,启辉汞灯,如其指示灯亮,但汞灯未点燃(也属正常),可再按“触发”按钮,将汞灯点燃。汞灯点燃30分钟后才能稳定。按下“控制电源”红色按钮,控制电源打开,几秒钟后面板上的“复位”键指示灯亮,曝光时间显示默认值“0060.0”,表明控制系统工作正常。
  4.上片将样片放到承片台上,打开“小硅片”气动开关(对于4寸片,还需打开“大硅片”)气动开关,样片被吸紧,反时针旋转曝光间隙调节手轮,使样片低于掩模面;将掩模放到掩模吸盘上,按“掩模”按钮(指示灯亮),掩模被吸紧。
  5.调平按“气浮”按钮(指示灯亮),球气浮吹气,顺时针旋曝光间隙调节手轮直至样片与掩模贴紧,再按“气浮”按钮(指示灯灭),球气浮被锁紧,样片被调平,在球气浮被锁紧的过程中掩模和样片间会分离一定的间隙,可直接进行对准。
  6.曝光时间设定按下“设定”键,指示灯亮,同时曝光时间(或剂量)显示的百位数字闪烁,可按“+”“-”键对曝光时间的第一位数调整,调整好后,再次、按设定(SET)键可进行下一位数字调整,当调整完最后一位时,再按“设定”键,退出“时间—剂量”设定,按“时间”或“剂量”键,可进行曝光操作(倒计时或定剂量曝光)。
  曝光过程中,显示窗显示曝光状态的倒计时。
  7.对准调节
  7.1显微镜对准一般来说调平完成被锁紧后(关“气浮”,掩模和样片间存在一定的)间隙,可直接进行对准,但如果调平顶紧的力过大或过小,则调平完成被锁紧后,对准间隙可能过大或过小,这种情况下,可旋转调焦手轮,调节出合适的对准间隙—即保证掩模和样片的对准标记都能成清晰像,且作对准运动时掩模和样片不摩擦(掩模和样片不一起运动)。
  对准台分三部分,下层为整体运动台(样片和掩模一起作整体运动,能保证掩模和样片对准标记进入到显微镜的视场内,也可用于增大曝光面积);中心为转动,调节旋转手轮可使承片台相对掩模旋转;上层为相对运动台,旋转其手轮,可使掩模相对于样片作X、Y对准运动。对准显微镜的使用见“显微镜使用说明书”。
  7.2CCD对准调平完成后首先分离出合适的对准间隙。
  对于薄胶:其操作基本和显微镜对准一样,所不同的是其观察是通过计算机监视器。
  对于厚胶:首先移动整体运动台,掩模对准标记进入到CCD对准系统的测量视场内(好两个标记基本都位于CCD视场的中心),通过计算机采集掩模对准标记的像并保存。调焦,使样片对准标记在计算机监视器上成清晰像,调节对准手轮(作掩模和样片相对运动X、Y、θ),使样片对准标记与保存的掩模对准标记的像相一致。
  8.关机关机的顺序和开机相反,先关掉控制系统电源,再关掉汞灯电源。
  9.操作警告
  不要在控制系统工作的情况下启辉汞灯,以免损坏电气系统。
  操作过程中出现控制紊乱或死机,按面板上“复位”键,几秒钟后,系统重新复位。
  汞灯要及时更换,以免出现其他事故。汞灯的寿命一般为200-300小时。一般说来,如汞灯位置处于好的状态,可变光栏又开到z大位置,而照明面的光强(365nm)小于7mW/cm2,则必须更换汞灯。
  以上便是今天关于集结号:NXQ4006光刻机的操作步骤及工作过程的全部分享了,希望对大家今后使用本设备能有帮助。
 


 
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