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  • SU-82000化学放大,i线抗蚀剂非常适合制造permanent性器件结构。这些负色调,环氧基抗蚀剂表现出优异的耐化学性和低的杨氏模量,使其成为制造微/纳米结构的理想选择,如悬臂,膜和微通道。
  • SU-8 3035,  3050Microchem SU-8 3000系列
    SU-83000已被配制用于改进的粘合性和降低的涂层应力。它被用于需要高结合强度和改进的微结构制造柔性的地方。结果,大大提高了与基板的粘合性。

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