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匀胶机POLOS450

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匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、甩胶机

匀胶机POLOS450产品概述:

1  匀胶机工作原理:

匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

2、匀胶机型号及技术参数如下:

型号

SPIN150i

SPIN200i

POLOS300

POLOS450

POLOS600

基片范围

直径160mm or 4?方片

直径260mm or 6?方片

直径360mm or 8?方片

直径460mm or 350mm方片

直径600mm or 430mm方片

程序段数

无限制

无限制

无限制

无限制

30个程序

操作步数

无限制

无限制

无限制

无限制

90个步骤

旋转速度

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-12,000 rpm ±1rpm steps

0-1500rpm ±1rpm steps

0-1,500 rpm ±1rpm steps

旋转精度

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

±0.1 rpm

旋转方向

顺时针、逆时针、交换摆

顺时针、逆时针、交换摆

顺时针、逆时针、交换摆

顺时针、逆时针、交换摆

顺时针、逆时针

zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

555彩票30,000 rpm/sec

1500rpm时取决于负载

500 rpm/sec

旋转时间

无限制*,± 0.1 seconds steps

无限制*,± 0.1 seconds steps

无限制*,± 0.1 seconds steps

无限制*,± 0.1 seconds steps

1 to 999 sec/step

腔体直径

202 mm

302 mm

402 mm

502 mm

642mm

外形尺寸

(w*h*d )

555彩票274 x 250 x 451 mm

380 x 307 x 559mm

430 x 310 x 650mm

555彩票795 x 638 x 922mm

800 x 1,450 x 1,650mm

触屏控制

全彩触屏控制

全彩触屏控制

全彩触屏控制

全彩触屏控制

全彩触屏控制

设备重量

14Kg

20Kg

32Kg

75Kg

 

电源参数

555彩票220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

220V,50/60 Hz

三、匀胶机的特点:

1、该匀胶机采用德国先进技术:
2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计,这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成,具有良好的光洁度及平整度,保证晶圆片被很好地吸附,主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑,轴向有弹性垫及调整垫,可保障主轴具有较高的精度。
4、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度。
5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能,或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节,与配套真空泵一同使用。

产品相关关键字: 匀胶旋涂仪 甩胶机 涂胶台 匀胶台 Spin Coater

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