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Futurrex紫外正性光刻胶

型    号:PR1系列
报    价: 市场价:
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Futurrex 成立于1985年,是美国高端光刻胶及辅助化学品制造商。产品以技术著称,从2000年至今年均增长率为33%。主要客户有:Ti、半导体、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm (高通)等。Futurrex长期与Intel实验室合作,产品被广泛收录进美国各大学半导体教程,是各大研究机构产品。

Futurrex紫外正性光刻胶产品概述:

Futurrex产品优势:

1Futurrex光刻胶黏附性好,无需使用增粘剂(HMDS

2、负性光刻胶常温下可保存3

3150度烘烤,缩短了烘烤时间

4、单次旋涂能够达到100um膜厚

5、显影速率快,100微米的膜厚,仅需6~8分钟

 

正性光刻胶

A 粘度增强正胶(PR1系列)

应用:蚀刻、反应离子刻蚀、离子注入、电镀;

特征:PR1系列正胶耐热温度=110℃;

 

品牌

产地

型号

厚度

耐热温度

应用

Futurrex

美国

PR1-500A

0.4μm0。9μm

耐热温度=110

湿刻、反应离子束刻蚀、离子植入、电镀

PR1-1000A

0.7μm2.0μm

PR1-1500A

1.3μm3.0μm

PR1-2000A

1.7μm~4.0μm

PR1-4000A

3.7μm~10.0μm

PR1-12000A

10.0μm~25.0μm

Micro Resist

德国

ma-P 1200系列

0.550μm胶厚

非常适合作为刻蚀掩模,极好的抗干刻、湿刻性能;
优异的电镀性能(酸和碱性镀液中极高的稳定性)

光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影;
宽带、gi线曝光

产品相关关键字: 光刻胶 紫外正性光刻胶 光学液

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