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  • SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首要的手动探针台,设计灵活且易于使用。这些手动探针系统的高性能和经济性使它们属于自己的一类。凭借高达200mm的晶圆功能,DC或RF探头和可选的热卡盘以及各种屏蔽选项,我们的探针台可用于广泛的应用,例如故障分析,可靠性测试,IV/CV测试,低目前的测试,微波和射频表征等等。
  • 随着半导体变得越来越小和越来越复杂,有必要更密切地监控和控制生产,特别是在该过程的更上游。使用MicroXact的半自动探针台进行的晶圆级可靠性测试通过一系列压力测试收集数据,以识别可能影响器件长期可靠性的不规则性。尽管并非总是需要,但在晶片级可靠性测试之后可以进行进一步的和广泛的故障分析。 系统构建在一个重型,通用的平台上,能够配置为处理各种探测应用。
  • SPS2600-HP,SPS2800-HP和SPS12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于高效设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持最多200mm晶圆的手动和半自动探测。
  • MicroXact的半自动探针台提供多种选择,包括加热/冷却晶圆卡盘,标准或数字显微镜以及可编程平台分度,为您的所有高效设备表征提供经济高效且易于使用的解决方案。晶圆级可靠性测试需求。这些半自动探针台有三种选择(标准,高精度和高速)。
  • LCS-4000系列分析探针台配有激光切割系统 带有集成激光切割系统的LCS-4000探针台为用户提供了半导体诊断切割,失效分析,修整,标记和顶层去除的最大灵活性。所有这些功能都可以在微观层面上进行,所有这些都在这一系统上进行,这提供了非常易于使用的高水平性能。
  • A4P四点探针自动电阻率测绘系统 A4P系列晶圆电阻率映射器使用经过验证的行业标准,可以快速,准确,可靠地测量样品电阻率分布。MicroXact的四点探针通过使电流通过四点探头的外部点并测量内部点的电压来测量半导体晶圆层的平均电阻。然后可以通过将薄层电阻乘以薄膜的厚度来找到电阻率的值,即赋予其电阻的材料的性质。

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