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  • 远程等离子清洁的原理 远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。
  • 美国PIE出品的EM-KLEEN型远程等离子清洁仪,广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系统,可同时清洁真空腔室和样品!
  • 品牌:PIE 型号:TergeoEM TergeoEM型样品杆清洁专用等离子清洁仪 特有的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品,如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上的TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标准SEM样品托。特别设计的适配器可以清洁不同厂家的TEM样品杆。
  • 专为去除SEM&TEM样品的碳氢污染而设计。特有的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱
  • TergeoEM型SEM及TEM样品/样品杆清洁专用等离子清洁仪 美国PIEScientific专注研发先进的实验室用等离子仪器,用于SEM/TEM样品清洁、光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是:将半导体和核工程研究中开发的等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器。
  • 一、Tergeo系列等离子清洗机应用 等离子清洗机清除样品表面的污染物,去除光阻胶:产生表面活性功能组; 清洗提高材料表面亲水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS; 表面活化:渲染表面的亲水性或疏水性,键合和沉积前的表面预处理 表面聚合:沉积带官能分子团的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面; 表面改性:在材料表面产生官能分子团,高分子材料表面修饰; 去除表面残留微生物,医疗器械的消毒和

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