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  • 应用: 芯片封装,工业应用,医学应用等,是小尺寸实验室R&D或小规模生产的理想选择。
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  • 我们的石英等离子去胶机气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成了气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小,除非他们通过电场加速。加速时,他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。
  • MYCRO的SCE-604系列感应耦合等离子体(ICP)等离子体系统是用于等离子体灰化工艺的Z有效仪器。适用设备如:SCE-104,106,108。等体灰化1-4个样本的系统(4个独立的反应舱),每个石英反应舱是独立封闭,从而避免交叉污染。

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